În industria semiconductorilor, reducerea structurii duce la circuite integrate mai mici, mai eficiente, mai rapide și mai ieftine. Odată cu progresele înregistrate în domeniul microelectronicii, cresc cerințele față de sistemele de manipulare responsabile pentru transportul curat și sigur al plachetelor. Într-o aplicație personalizată, 10 amortizoare miniaturale ACE asigură protecția fiecărei axe liniare.

Fotolitografia este o tehnologie cheie în fabricarea componentelor și circuitelor microelectronice, precum și în producția de microsisteme. În cadrul acestui proces, un model structural este transferat de pe o fotomască pe un strat subțire de fotorezist foto-structurabil, sensibil la lumină, de pe o plachetă. Pentru a asigura o producție fără cusur, proiectanții acordă cea mai mare atenție atât programării proceselor automate, cât și monitorizării secvențelor. Din cauza cererii de microprocesoare și cipuri de memorie și pentru că fiabilitatea este extrem de importantă în producția de wafere, mulți producători de cipuri lucrează cu furnizori interni în domeniul sistemelor de manipulare. Aceștia pot fi implicați în procesele de producție fără prea multe riscuri și, de obicei, își echipează proiectele cu componente standard de înaltă calitate, dovedite, pentru acționări, comenzi și axe liniare. Pentru a asigura aceasta din urmă în cel mai bun mod posibil prin intermediul unor elemente de mașini robuste, mecanice, independente de curent, care pot fi utilizate și în camere curate, există o cooperare cu ACE Stoßdämpfer GmbH. Un alt motiv important pentru această cooperare este faptul că firma din Langenfeld oferă soluții personalizate, pe lângă o mare varietate de produse de catalog. Acestea sunt adaptate cu precizie de către o echipă experimentată de ingineri de la ACE la cerințele producătorilor de semiconductori prin proiectarea precisă a fiecărei componente cu ajutorul unui software și apoi prin testarea acesteia în laboratorul de testare al ACE. În acest fel, împreună cu clienții, se asigură că toate axele de producție sunt protejate în mod eficient pentru a exclude deteriorarea în timpul manipulării.

Proiectare, simulare, banc de testare: Cum transformă ACE amortizoarele standard în produse unice
După cum sugerează și numele companiei, unul dintre punctele forte ale ACE este în domeniul tehnologiei de absorbție a șocurilor. Originar din SUA, producătorul a fost primul care a introdus pe piață amortizoarele industriale reglabile în urmă cu aproape 60 de ani. Compania, care face parte din grupul STABILUS din 2016, oferă, de asemenea, componente pentru proiectanți, cum ar fi arcuri industriale cu gaz, frâne de rotație, elemente de prindere și numeroase alte soluții pentru decuplarea vibrațiilor, printre altele. În acest context, amortizoarele mici și industriale au rămas un domeniu de activitate central al ACE, la fel ca și amortizoarele de siguranță. Know-how-ul unic asociat cu aceste produse a fost extins continuu de-a lungul anilor de către inginerii de dezvoltare din SUA și Europa, astfel încât să conducă la rezultatele dorite de client în această aplicație.

Pentru producția de așchii, axele de înaltă precizie, fără fricțiune, sunt instalate într-un sistem de manipulare pentru aplicația în cauză. Potrivit producătorului, axele X și Y ale acestora, ca și axa polului central (CP), pot fi solicitate doar cu forțele maxime admise în caz de accident, pentru a se asigura sută la sută că întregul sistem nu este deteriorat. În consecință, în această aplicație, cele trei axe au trebuit să fie echipate cu trei tipuri diferite din gama ACE de amortizoare mici. Patru amortizoare mici cu filet M20 au fost utilizate pentru axa Y, patru pentru axa X, dar cu filet M18, și două pentru axa CP cu filet M25.

În prima etapă, ACE a lucrat cu clientul pentru a determina tipul adecvat de amortizor pentru fiecare dintre cele trei axe, care trebuia să îndeplinească specificațiile exacte furnizate de client. În plus, inginerii de la ACE au primit forța de sprijin maximă tolerată în cazul unui accident. În cazul axei Y, de exemplu, următorii parametri au fost împărțiți la câte un amortizor: Masa, m = 95,85 kg și viteza, v = 1,08 m/s, ceea ce corespunde unei energii cinetice de 55,90 Nm. Forța de susținere maximă admisă pentru această punte era de 5 700 Nm. Pe baza acestor informații, într-o a doua etapă, departamentul de dezvoltare ACE a simulat modelul de găurire pentru tipurile de amortizoare mici care ar putea fi luate în considerare pentru forțele de masă și viteza de acționare electrică. După cum arată ilustrația (Fig. 3), a fost posibilă decelerația energiei și a vitezei în mod uniform pe întreaga cursă de 14 mm, reducând forța maximă de susținere la o valoare de aproximativ 5 300 Nm. ACE a reușit, de asemenea, să respecte valorile specificate pentru cea mai bună protecție posibilă a celorlalte două axe cu ajutorul componentelor mecanice. Într-o a treia și ultimă etapă, micile amortizoare, care au fost fabricate la comandă în funcție de rezultatele simulării, au fost livrate clientului de înaltă tehnologie după o testare extinsă. De atunci, cele 10 amortizoare mici de la ACE au oferit protecție personalizată pe toate cele trei axe de mișcare ale fiecărui sistem de manipulare utilizat în producția de wafere.