Conceptul KIVOS

KIVOS este un concept modular foarte flexibil pentru sistemele cu plasmă. Aceste sisteme pot fi utilizate într-o gamă largă de aplicații, cum ar fi curățarea fină și activarea suprafețelor, gravarea ionică reactivă (RIE) și acoperirea (PECVD, PVD). Conceptul permite AURION să fabrice produse foarte dezvoltate la prețuri avantajoase. Clienții noștri beneficiază de acest avantaj de preț. Un alt avantaj este că un singur sistem poate fi utilizat pentru aplicații foarte diferite.

Ideea de bază din spatele acestui concept este de a face cât mai multe componente ale unui sistem ușor interschimbabile. Aceasta înseamnă atât interschimbabile între ele, cât și înlocuibile cu componente noi, de exemplu pentru o nouă aplicație.

După cum arată schița de mai jos, elementul de bază al camerei de procesare este un cadru din oțel inoxidabil în formă de cub. Șase plăci metalice (module), care îndeplinesc funcții diferite, sunt atașate la acest cadru. Modulele sunt fabricate din oțel inoxidabil sau aluminiu, în funcție de aplicație.

Datorită dimensiunilor identice ale tuturor modulelor (formă cubică!!!), este posibil să le schimbați între ele sau cu alte componente fără mari eforturi. Acest lucru înseamnă că nu trebuie achiziționată o cameră de proces complet nouă pentru o aplicație ușor diferită, care poate necesita doar două flanșe noi sau o ușă de cameră diferită. În unele cazuri, este suficientă chiar înlocuirea a două sau trei module între ele.