Anchetă produs
În cooperare cu Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik, Berlin, au fost dezvoltate aceste noi surse de plasmă foarte compacte și eficiente din punct de vedere al costurilor.
Modelele din seria AURION IMAPlaS pot fi utilizate pentru activarea și curățarea tuturor tipurilor de suprafețe, în plus pentru îndepărtarea mai multor materiale. Prin urmare, acestea sunt utilizate în domenii largi ale microelectronicii, electronicii, opticii, tehnologiei senzorilor, medicale și în diverse alte domenii industriale. Acestea sunt sisteme complet integrate, gata de utilizare, în diferite configurații.