Aurion Anlagentechnik GmbH
Sisteme de clustere cu plasmă de la Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION oferă sisteme personalizate cu mai multe camere cu manipulare a substratului în vid. Configurațiile disponibile includ camere de blocare, camere de transfer și module de proces pentru procesele de pulverizare și RIE.