Bronkhorst High-Tech BV

Contoare de debit masic de gaz cu etanșare metalică

Bronkhorst® model F-111CM debitmetre de masă (MFM) concepute special pentru a satisface cerințele pieței de semiconductori, precum și alte aplicații cu gaze de înaltă puritate. Instrumentele prezintă o calitate ridicată a suprafeței și sunt de construcție modulară cu garnituri de etanșare metal-metal care asigură etanșeitatea pe termen lung. Modelul F-111CM este potrivit pentru măsurarea precisă a intervalelor de debit cuprinse între 0,12...6 sccm până la 1...50 slm (pe bază de N2) la presiuni de funcționare cuprinse între vid și 1500 psig (100 bar).

Seria EL-FLOW® Metal Sealed este echipată cu o placă de circuit imprimat digitală, oferind o precizie ridicată, stabilitate excelentă la temperatură și răspuns rapid. Placa pc-board digitală principală conține toate funcțiile generale necesare pentru măsurare și control. În plus față de ieșirea standard RS232, instrumentele oferă, de asemenea, I/O analogice. Opțional, poate fi montată o interfață la bord pentru a oferi protocoale CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII sau TCP/IP, EtherNet/IP sau FLOW-BUS. Designul EL-FLOW® cu etanșare metalică EL-FLOW® dispune de funcționalitatea opțională Multi Gas / Multi Range, oferind clienților (OEM-) o flexibilitate optimă și eficiență a procesului.